VIGOUR>>شريكك الموثوق به لأنظمة توصيل الغاز المتقدمة
في الصناعات-عالية التقنية حيث تكون الدقة والنقاء والسلامة أمورًا غير قابلة للتفاوض-، يعد توصيل الغاز الموثوق به أمرًا أساسيًا. تقوم VIGOR بتصميم وتصنيع أنظمة توصيل الغاز الشاملة التي تلبي هذه المتطلبات الحيوية، وتدعم الابتكار والإنتاجية عبر قطاعات البحث والتصنيع العالمية.
رف الغاز التخصصي
سلسلة في جي آر
- الإمداد المستمر وغير المنقطع بالغازات السائبة من الدرجة الإلكترونية-.
- وظائف التنفيس والتطهير الاختيارية، مع تخفيف الضغط الآمن.
- مجموعة ملحومة لغرفة الأبحاث فئة 100.
- تحكم PLC اختياري مع واجهة اتصال. والتي يمكن الوصول إليها عن طريق نظام منصة المراقبة الذكي.
- إنذار الضغط العالي / الضغط المنخفض بإشارات مسموعة ومرئية، قادر على الإغلاق في حالات الطوارئ.
- شاشة تعمل باللمس لضغط الاسطوانة والبيانات الأخرى.
- النوع: رف خاص للتحكم في الغاز
- المواد: SS 316L للصمامات ومكونات الأنابيب
- الغازات القابلة للتطبيق: الغازات الخاملة (Ne، Kr، Ar، He، إلخ.)
- طريقة إمداد الغاز: اسطوانة غاز
- مصدر الطاقة: 110 ~ 240 فولت تيار متردد
- التكوينات: أسطوانة واحدة-، أسطوانة مزدوجة-.
خزانة الغاز المتخصصة
سلسلة في جي سي
- النوع: خزانة غاز متخصصة
- المواد: SS 316L للصمامات ومكونات الأنابيب
- الغازات القابلة للتطبيق: الغازات القابلة للاشتعال/الغازات ذاتية الاشتعال-، والغازات المسببة للتآكل، والغازات السامة (على سبيل المثال، SiH4، وHCL)
- مصدر الطاقة: 110 ~ 240 فولت تيار متردد
- الهيكل:-فولاذ ملحوم مقاوم للتآكل
- النافذة الزجاجية:-إغلاق تلقائي
- ماسورة العادم: ماسورة العادم-المثبتة بالأعلى
- تطبيقات المنتج: الجامعة/مختبرات الأبحاث؛ التصنيع الصناعي; الطاقة الشمسية الكهروضوئية. المستحضرات الصيدلانية والتكنولوجيا الحيوية. تصنيع الدوائر المتكاملة لأشباه الموصلات
- معايير التصميم: يتوافق مع معايير SEMI S2؛ يتوافق مع قوانين السلامة من الحرائق في المباني الدولية؛ الحد الأقصى لضغط العمل: 110% من ضغط الاختبار الإثباتي
جمعيات عصا الغاز
سلسلة VUP
- عصا غاز فائقة النقاء لجميع أنظمة توزيع الغاز
100TG: أقل من أو يساوي 30 دورة في الدقيقة تسليم 1/4 بوصة VFS
200TG: أقل من أو يساوي 300 دورة في الدقيقة تسليم 3/8 بوصة VFS
300TG: أقل من أو يساوي 600 دورة في الدقيقة تسليم 1/2 بوصة VFS
- تم تصنيع المنتج وفقًا لمواصفات العملية VS001A
- دقة تحكم عالية
- جميع التوصيلات ملحومة أو VFS
- خيار صمام الحجاب الحاجز اليدوي أو الهوائي
- تم اختبار -تسرب-الهيليوم بنسبة 100%
- ضغط المدخل P1: 300 رطل لكل بوصة مربعة (20 بار)
- ضغط المخرج P2: تيار متردد إلى 30/60/100/150 رطل لكل بوصة مربعة (1/2/4/7/10 بار)
- مواد صمام الحجاب الحاجز: الجسم 316L؛ مقعد الصمام PCTFE؛ الحجاب الحاجز Elgiloy®
- المواد التنظيمية: الجسم 316L/316L إعادة الصهر الثانوي؛ مقعد الصمام PCTFE؛ الحجاب الحاجز Hastelloy®
- معدل التسرب: (إلى الغلاف الجوي) 1x10^-9 مللي بار I/s He;
(عبر المقعد) 1x10^-8 مللي بار I/s H
لوحات التحكم بالضغط
سلسلة VUP-1U
- لوحات التحكم بالضغط (نوع جانب واحد)
- منظم مرحلة واحدة من سلسلة VSR-100UBS/UCS
- صمامات أغشية التهوية من سلسلة VDV33UBS
- صمامات الحجاب الحاجز لعملية مدخل سلسلة VDV33UBS
- وصلات VFS الملحومة المدارية-بوصلات مانعة للتسرب
- تصميم وحدات
- مناسب لضغط المدخل حتى 3500 رطل لكل بوصة مربعة (250 بار)
- سهولة التركيب في خزانة الأمان لأسطوانات الغاز
- تم اختبار تسرب الهيليوم بنسبة 100%
- ضغط المدخل P1: الحد الأقصى 3500 رطل لكل بوصة مربعة (250 بار)
- ضغط المخرج P2: Vac إلى 10/30/60/100/150 رطل لكل بوصة مربعة (0.7/2/4/7/10 بار)
- الانتهاء من السطح: 10uin. را (25uin. را اختياري)
- المداخل والمنافذ: تركيب VFS مقاس 1/4 بوصة
- نطاق درجة الحرارة: -40 فهرنهايت إلى +160 ℉ (-40 درجة إلى +71 درجة)
- سعة التدفق: السيرة الذاتية =0.09 (الخيار السيرة الذاتية =0.15)
مصممة للتميز والسلامة
تم تطوير كل نظام لتوصيل الغاز VIGOR بموجب الالتزام بأعلى المعايير:
- التصميم والامتثال:تتوافق المنتجات مع SEMI S2 والقوانين الدولية للسلامة من الحرائق، مع ميزات السلامة مثل الإغلاق في حالات الطوارئ-وإنذارات الضغط المدمجة في كل مكان.
- نقاء التصنيع:يتم إجراء التجميع واللحام المداري في بيئة غرف الأبحاث من الفئة 100، باستخدام مواد عالية التكامل مثل SS 316L وHastelloy® C276 لضمان نظافة النظام وطول عمره.
- النزاهة التي تم التحقق منها:تخضع كل وحدة لاختبار صارم لتسرب الهيليوم بنسبة 100%، مما يضمن -أداء محكمًا ضد التسرب.
