INTEGRATED GAS SYSTEM>>مشاركة سلسلة منتجات IGS
توفر VIGOR أنظمة غاز متكاملة متقدمة (IGS) مصممة خصيصًا للتحكم في الغاز عالي النقاء- في صناعة تصنيع أشباه الموصلات. تجمع حلولنا بين الهندسة المبتكرة ومعايير التصنيع الصارمة لضمان الموثوقية والضغط والأداء المتفوق في التطبيقات المهمة.
ميزات المنتج
- يستخدم للتحكم في الغاز في صناعة أشباه الموصلات
- تصميم وحدات
- يتم تركيب جميع المكونات على السطح وفقًا لمعيار SEMl
- الحجم حوالي 1/3 اللوحة التقليدية
- المواد القياسية SEMl، عملية التلميع الكهربائي واللحام المداري
- الختم والختم -اختياري
- معبأ بأكياس مزدوجة في غرف الأبحاث
- يتم إنتاج جميع المنتجات، باستثناء "الأقواس"، وفقًا لمواصفات العملية VS001A
منظمات الضغط IGS سلسلة VIR
1. ماكس. ضغط العمل: 150 رطل لكل بوصة مربعة
2. ماكس. درجة حرارة العمل: -40 درجة فهرنهايت ~ 140 درجة فهرنهايت (-40 درجة ~ 60 درجة)
3. ضغط المخرج: 0 ~ 100 رطل لكل بوصة مربعة
4. تشطيب السطح: الحد الأقصى . 5uin. رع
5. المواد: 316L VIM-VAR
6. مقعد الصمام: PCTFE (PFA/Vespel اختياري)
7. سعة التدفق: السيرة الذاتية =0.08

IGS صمامات الحجاب الحاجز سلسلة VID
1. ماكس. ضغط العمل: 150 رطل لكل بوصة مربعة
2. ماكس. درجة حرارة العمل: PCTFE 14 درجة فهرنهايت ~ 176 درجة فهرنهايت (-10 درجة ~ 80 درجة)؛ PFA 14 درجة فهرنهايت ~ 302 درجة فهرنهايت (-10 درجة ~ 150 درجة)
3. لا يوجد تصميم مسدود
4. تتم معالجة السطح المبلل بـ EP، بحد أقصى . 5uin. رع.
5. المواد: 316L VIM-VAR
تم اختبار 6. 100% هيليوم-تسرب-.
7. سعة التدفق: السيرة الذاتية =0.1

IGS سلسلة صمامات التحكم في التدفق VIM
1. ماكس. ضغط العمل: 150 رطل لكل بوصة مربعة
2. ماكس. درجة حرارة العمل: 14 درجة فهرنهايت ~ 302 درجة فهرنهايت (-10 درجة ~ 150 درجة)
3. الختم: جبهة مالوكو
4. تتم معالجة السطح المبلل بـ EP، بحد أقصى . 5uin. رع
5. سعة التدفق: السيرة الذاتية =0.03

IGS فحص الصمامات سلسلة VICV
1. ماكس. ضغط العمل: 150 رطل لكل بوصة مربعة
2. ماكس. درجة حرارة العمل: 14 درجة فهرنهايت ~ 176 درجة فهرنهايت (-10 درجة ~ 80 درجة)
3. اللمسة النهائية للسطح: الحد الأقصى . 5uin. رع
4. ضغط التكسير: 0.33 رطل لكل بوصة مربعة
5. سعة التدفق: السيرة الذاتية =0.2

سلسلة الركائز VlB (C-ختم)
1. ج-الختم
2. التثبيت غير-الثابت لضمان تأثير الختم
3. يتم معالجة الجزء الرطب بـ EP
4. تشطيب السطح: Max. 5uin.Ra
5. المواد: 316L VIM-VAR

لماذا تختار VIGOR IGS؟
تمثل أنظمتنا مزيجًا من الهندسة الدقيقة والتصميم العملي، مما يوفر ما يلي:
- كفاءة المساحة: تقليل حجم اللوحة بشكل كبير.
- درجة نقاء فائقة-: مواد وعمليات مصممة خصيصًا لتطبيقات فئة أشباه الموصلات-.
- المرونة المعيارية: سهولة التكوين والتوسيع والصيانة.
- موثوقية مثبتة: اختبارات صارمة وتوافق مع معايير SEMI-.
في VIGOUR، نقدم أكثر من مجرد مكونات-نحن نقدم حلولاً متكاملة تجعل أفكارك تنبض بالحياة بثقة ودقة.


