INTEGRATED GAS SYSTEM>>مشاركة سلسلة منتجات IGS

Dec 25, 2025

ترك رسالة

INTEGRATED GAS SYSTEM>>مشاركة سلسلة منتجات IGS

 

 

توفر VIGOR أنظمة غاز متكاملة متقدمة (IGS) مصممة خصيصًا للتحكم في الغاز عالي النقاء- في صناعة تصنيع أشباه الموصلات. تجمع حلولنا بين الهندسة المبتكرة ومعايير التصنيع الصارمة لضمان الموثوقية والضغط والأداء المتفوق في التطبيقات المهمة.

 

Integrated Gas Systems (IGS)

ميزات المنتج

  • يستخدم للتحكم في الغاز في صناعة أشباه الموصلات
  • تصميم وحدات
  • يتم تركيب جميع المكونات على السطح وفقًا لمعيار SEMl
  • الحجم حوالي 1/3 اللوحة التقليدية
  • المواد القياسية SEMl، عملية التلميع الكهربائي واللحام المداري
  • الختم والختم -اختياري
  • معبأ بأكياس مزدوجة في غرف الأبحاث
  • يتم إنتاج جميع المنتجات، باستثناء "الأقواس"، وفقًا لمواصفات العملية VS001A

 

منظمات الضغط IGS سلسلة VIR

1. ماكس. ضغط العمل: 150 رطل لكل بوصة مربعة

2. ماكس. درجة حرارة العمل: -40 درجة فهرنهايت ~ 140 درجة فهرنهايت (-40 درجة ~ 60 درجة)

3. ضغط المخرج: 0 ~ 100 رطل لكل بوصة مربعة

4. تشطيب السطح: الحد الأقصى . 5uin. رع

5. المواد: 316L VIM-VAR

6. مقعد الصمام: PCTFE (PFA/Vespel اختياري)

7. سعة التدفق: السيرة الذاتية =0.08

 

IGS Pressure Regulators (VIR Series)

IGS صمامات الحجاب الحاجز سلسلة VID

1. ماكس. ضغط العمل: 150 رطل لكل بوصة مربعة

2. ماكس. درجة حرارة العمل: PCTFE 14 درجة فهرنهايت ~ 176 درجة فهرنهايت (-10 درجة ~ 80 درجة)؛ PFA 14 درجة فهرنهايت ~ 302 درجة فهرنهايت (-10 درجة ~ 150 درجة)
3. لا يوجد تصميم مسدود
4. تتم معالجة السطح المبلل بـ EP، بحد أقصى . 5uin. رع.

5. المواد: 316L VIM-VAR
تم اختبار 6. 100% هيليوم-تسرب-.

7. سعة التدفق: السيرة الذاتية =0.1

 

 

IGS Diaphragm Valves VID Series

IGS سلسلة صمامات التحكم في التدفق VIM

1. ماكس. ضغط العمل: 150 رطل لكل بوصة مربعة

2. ماكس. درجة حرارة العمل: 14 درجة فهرنهايت ~ 302 درجة فهرنهايت (-10 درجة ~ 150 درجة)

3. الختم: جبهة مالوكو

4. تتم معالجة السطح المبلل بـ EP، بحد أقصى . 5uin. رع

5. سعة التدفق: السيرة الذاتية =0.03

 

 

IGS Flow Control Valves VIM Series

IGS فحص الصمامات سلسلة VICV

1. ماكس. ضغط العمل: 150 رطل لكل بوصة مربعة

2. ماكس. درجة حرارة العمل: 14 درجة فهرنهايت ~ 176 درجة فهرنهايت (-10 درجة ~ 80 درجة)

3. اللمسة النهائية للسطح: الحد الأقصى . 5uin. رع

4. ضغط التكسير: 0.33 رطل لكل بوصة مربعة

5. سعة التدفق: السيرة الذاتية =0.2

 

 

IGS Check Valves VICV Series

سلسلة الركائز VlB (C-ختم)

1. ج-الختم
2. التثبيت غير-الثابت لضمان تأثير الختم

3. يتم معالجة الجزء الرطب بـ EP

4. تشطيب السطح: Max. 5uin.Ra

5. المواد: 316L VIM-VAR

Substrates VlB Series (C-seal)

 

سلسلة المنتجات الأساسية

  • منظمات الضغط IGS (سلسلة VIR)
  • صمامات الحجاب الحاجز IGS (سلسلة VID)
  • صمامات التحكم في التدفق IGS (سلسلة VIM)
  • IGS فحص الصمامات (سلسلة VICV)
  • ركائز وأقواس IGS (سلسلة VIB)
  • الحشيات (سلسلة VIG)
Gaskets (VIG Series)

 

لماذا تختار VIGOR IGS؟

 

تمثل أنظمتنا مزيجًا من الهندسة الدقيقة والتصميم العملي، مما يوفر ما يلي:

  • كفاءة المساحة: تقليل حجم اللوحة بشكل كبير.
  • درجة نقاء فائقة-: مواد وعمليات مصممة خصيصًا لتطبيقات فئة أشباه الموصلات-.
  • المرونة المعيارية: سهولة التكوين والتوسيع والصيانة.
  • موثوقية مثبتة: اختبارات صارمة وتوافق مع معايير SEMI-.

 

في VIGOUR، نقدم أكثر من مجرد مكونات-نحن نقدم حلولاً متكاملة تجعل أفكارك تنبض بالحياة بثقة ودقة.

 

 

إرسال التحقيق